k-Space Associates, Inc. 製品名をクリックし、製品詳細情報を確認することができます。こちらの製品はオンラインショップにて購入も可能です。

k-Space Associates, Inc.

• RHEED解析システム kSA400
• 基板反り・薄膜応力測定モニタ
  MOS（マルチビームオプティカルセンサ） in-situ
• リアルタイム基板表面温度モニタ kSA BandiT
• MOS ウルトラスキャン ex-situ
• 深紫外LED製造装置用ウェハ表面温度モニタ
  DUV-BandiT
• MOS サーマルスキャン ex-situ
• MOCVD用in-situひずみ・応力・温度・反射率・膜厚測定システム　kSA ICE
• ex-situ ウェハキャリア検査システム kSA Emissometer
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