蒸着装置・MBEコンポーネント
蒸着装置
- 成膜レシピ制御型自動蒸着システム ADS-E86
- PLASSYS BESTEK 超伝導接合形成用高真空蒸着装置 MEB550S型
- スパッタガン ASGシリーズ
- 超高真空蒸着装置 i Quick
- 超高真空2元同時EB蒸着装置
- 研究開発用小型MBE装置RD0002
- 金単結晶基板作製装置 867DAG
- 高真空蒸着装置 EB1900
MBEコンポーネント
- シングルフィラメントセル
- ホットリップSUMOセル
- デュアルフィラメントセル
- 低温シングルフィラメントセル
- 低温デュアルフィラメントセル
- 低温SUMOセル
- コールドリップSUMOセル
- 水素アトムソース
- 高温セル
- 低温ガスソース
- ドーパントセル
- バルブドクラッカーセルAs
- バルブドクラッカーセルSb
- バルブドクラッカーセルSe
- 酸素プラズマソース
- 窒素プラズマソース
- シャッター機構
- 温度コントロールDC電源
- 加熱ビューポート
- PG/PBNヒーター &静電チャック
膜厚計
- 薄膜蒸着コントローラ IC6
- 同時蒸着コントローラ Guardian
- 薄膜蒸着コントローラ XTC3
- 薄膜蒸着コントローラ SQC310シリーズ
- 多層膜蒸着用 膜厚・レートモニター SQM-160
- 膜厚・蒸着レートモニター STM-2
- 膜厚・蒸着レートモニター STM-2XM
- センサー
- 水晶振動子
蒸着源＆ハースライナー