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ワイドレンジ電離真空計セット

ワイドレンジ電離真空計セット

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

チャンバベークする装置にも対応
(ICFフランジ付ゲージ
+ベーカブルケーブル)

ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源
省スペース化と軽量化を実現
フィラメント切換え機能がリモートI/O操作でも行える
RS232Cの通信機能も標準装備
自動制御が行い易く、操作も容易

1.小型(1/4ラックサイズ)、軽量化(1.2kg)
2.圧力レンジ自動切換
3.豊富な外部制御機能により遠隔操作が行えます。
4.セットポイントを2点標準装備
5.CEマーキング適合&UL規格準拠
6. 入力電圧はワイド電圧

【メーカー】
キヤノンアネルバ


標準ゲージケーブル M-431HG-MG2 313,500円 お問合わせ下さい お問い合せ
標準ゲージケーブル M-431HG-MG2F 319,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
ベーカブルゲージケーブル M-431HG-MG2F-B 338,800円 お問合わせ下さい お問い合せ
ベーカブルゲージケーブル M-431HG_MG2M 319,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
M-431HG-Jワイドレンジ電離真空計
圧力表示範囲0.01×10-7〜13.2×100Pa
圧力表示デジタル、測定レンジ自動切換
セットポイント2点標準装備(ヒステリシス付)
D/A出力LOGまたは複合出力切換(0〜10V)
アナログ出力0〜10V(APC対応出力)
外部制御機能(リモート操作)INPUT :フィラメントON/OFF パラメータLOCK :フィラメント切換 デガスON/OFF :レンジホールド OUTPUT:セットポイント1,2 :フィラメントON/OFFステータス :デガスステータス フィラメント1/2ステータス
通信機能RS232C標準搭載 (9600,4800,2400,1200bps)
寸法・質量104W×99H×296D 1.2Kg
所要電力50VA AC90〜240V 50/60Hz 付属ケーブルは100V仕様 200Vで使用される場合は別途ご相談下さい。
エミッション電流10μA,100μA,1mA(自動切換または固定)
ガス出しグリッド通電加熱方式、通電タイマー3分
フィラメント切換キー及びリモートI/O操作
フィラメント保護13.3×100Pa
対応CEマーキング、RoHS(Category9)
MG-2Fミニチュアゲージ
ボディー材質SUS304
測定上限圧力13Pa
測定下限圧力10-7Pa台
感度0.045Pa-1
フィラメントフィラメント2本内蔵フィラメント材:イットリアコートイリジウム線
測定球容積約12cc
所要電力フィラメント/グリッドデガス2.3W/1.0W
デガス方式グリッド通電
取付方法φ70ICFフランジに接続


【用途】
・自働化真空装置の圧力測定
・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定

【セット内容】
・M-431HGワイドレンジ電離真空計
・ミニチュアゲージ
・ミニチュアゲージ用ケーブル 5m

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