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蒸着用電子銃制御電源 i-Power

蒸着用電子銃制御電源 i-Power

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

◎超小型・軽量
・従来品の約1/5のサイズと重量で全シリーズ標準ラックマウント企画

◎放電抑制回路
・ダイナミックアークサプレッション回路を搭載により放電をμsecレンジで検出し、消滅・再出力を瞬間的(50msec)に行い、過剰な異常放電(5秒間に12回以上)を検出すると即座に出力をカットして過電流から蒸発源を保護

◎外部制御回路
 薄厚制御器からエミッション電流を制御し安定したレート制御が可能

◎多チャンネル出力対応
 ソースコントローラーを使った多チャンネル分配出力タイプを準備

◎豊富なバリエーション
 9機種のタイプから出力・チェンネル数など用途に合わせて選択

**詳細はこちらまで(PDF)**



EV5N4X1 2,246,400円 2,134,080円 お問い合せ
EV10N10X1 3,132,000円 2,862,000円 お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

[仕様]

商品番号

EV10N10X1

EV5N4X1

出力

10KW 4KW
出力電圧 0-10.0KV 3.5-5.5KVDC
出力電流 0-1000mA 0-750mADC
入力電圧/電圧 208Vac±10%/50A 200Vrms±10%/30A

相/周波数

三相/50/60Hz 単相50/60Hz
ソースコントローラ 高電圧出力ユニットに内蔵 高電圧出力ユニットに内蔵
フィラメント出力電圧/電流 0-12V/0-35A 0-12V/0-35A
リモートエミッション コントロール 0-10V=0-1000mA 0-7.5V=0-750mA
出力ボックス 1個
極性
リップル 1.5%rms 1%rms
入力変動率 ±0.1%(10%の入力変動に対して最大電圧に対して)
負荷変動率 0.1%(無負荷を最大の負荷の変動に対して)
エミッション電流変動率 ±0.5mA
放電検出時間 μsecレンジ
放電消滅・再出力時間 50msec
過電流保護回路 12回/5sec以上発生時出力電流カット
高さ×幅×奥行(mm)/重さ
高電圧ユニット
出力ボックス
267×483×483/30Kg
(1ch.タイプは、ソースコントローラ内蔵)
102×159×254/2.7Kg(チャンネル数分付属)
ケーブル

接続ケーブルA:6m(本体〜出力ボックス間)
接続ケーブルB :6m(本体〜出力ボックス間)
出力ケーブル:0.9m(コネクター無し)
入力ケーブル :3.5m