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多層膜蒸着用 膜厚・レートモニター

多層膜蒸着用 膜厚・レートモニター

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

蒸着レートと膜厚の2つのアナログレコーダー出力があります。センサー入力は異なる材料用に複数割り当てられます。また大きな蒸着システムにおいては、正確な蒸着測定のために平均化測定が出来ます。

【メーカー】
インフィコン


モニター標準 2ch SQM-160-S-2-R 354,240円 お問合わせ下さい お問い合せ
モニター標準 6ch SQM-160-S-6-R 546,588円 お問合わせ下さい お問い合せ
モニター高分解能 2ch SQM-160-H-2-R 433,188円 お問合わせ下さい お問い合せ
モニター高分解能 6ch SQM-160-H-6-R 624,888円 お問合わせ下さい お問い合せ
オシレーターキット
ケーブル3m付
783-500-109-10 52,164円 お問合わせ下さい お問い合せ
オシレーターキット
ケーブル7.5m付
783-500-109-25 53,352円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
センサー入力:2ch標準 , 6chオプション
周波数範囲 :6.5〜1.0MHz
周波数分解能:±0.30Hz(標準), ±0.03Hz(高分解能), 測定時間  :0.10〜2sec
メモリ保存膜数:99
アナログ出力:2点 0〜5V DC
デジタルI/O:4点入力,4点リレー出力
インターフェイス:RS-232(標準)、USB or Ethernet(オプション)
電源:100〜120/200〜240VAC、50/60Hz、20W