株式会社アールデック | オンラインショップ
HOME > バルブ > バリアブルリークバルブ

バリアブルリークバルブ

バリアブルリークバルブ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

微量のガス導入を手動で行えます

導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するもので、調節可能最小リーク量が6.7x10-9Pa・m3/sec以下ときわめて微少流領域から安定した調節が可能です。また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。

1.熱と外部衝撃に強いシール部
・シール部はWC系超硬合金を銅合金を組み合わせてシールしている為、サファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません。

2.微少ガス流量を安定調節
・調節可能最少リーク量が6.7×10-9Pa・m3/sec以下(Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2MPa時)と、きわめて微少ガス流量の安定した調節が可能です。

3.優れた許容加熱性
・全金属製で450℃までのベーキングができます

4.広範囲ガス流量調節
・広範囲にわたり安定したガス流量の調節が可能です

5.超高真空接続可能
・構成部品材料を吟味してありますので、超高真空装置に接続可能です。


【メーカー】
キヤノンアネルバ


φ8×5.6US-304管 951-7170 172,800円 お問合わせ下さい お問い合せ
φ34ICF 951-7172 177,120円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
使用真空領域      大気圧〜10-8Pa程度
調節可能最少リーク量  6.7×10-9Pa・m3/sec以下
バルブ全閉時リーク量  6.7×10-11Pa・m3/sec以下
許容加熱温度      450℃(開閉いずれも可)
許容導入ガス圧力    1MPa
ガスケットの寿命    約300回シール(室温使用時)
            約30回シール(ベーキングを伴う場合)
            (ガスケット交換可能)
構成部品材料      本体   :SUS-304
            シール部 :WC系超硬合金
            ガスケット:Cu合金
接続フランジ
  ガスOUTLET側   φ70ICF固定フランジ
  ガスINLET側    φ8×φ6sus-304管(951-7170)
           φ34ICF固定フランジ付(951-7172)
添付品         951-9160ガスケット 2個
            951-9160リング 2個
            951-9160スパナ 1本
            呼び5六角棒スパナ1本
            呼び8六角棒スパナ1本
質量          1.3kg

【用途】
・導入ガス流量の調節を必要とする真空装置
・スパッタ装置、ガス分析装置
・物理学実験・研究用装置等