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UHVゲートバルブ

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・ベローズ軸シール、潤滑剤-freeの内部メカニズム
・最新のVATLOCK機構により極小ショックによる閉動作、最小磨耗を実現
・Vulcanizedゲートシールによる、ポケット部のないシール

[メーカー]
VAT株式会社

ICF114	10836-CE01	362,250円	お問合わせ下さい
ICF152	10840-CE01	472,500円	お問合わせ下さい
ICF203	10844-CE01	626,850円	お問合わせ下さい
ICF253	10846-CE01	862,050円	お問合わせ下さい
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。 ※送料等は"ご利用ガイド"へ

[仕様]
手動式：ハンドホイール
リーク量
　－ボディ　　　　　　　　　　　＜５・１０^-11Pa ｍ³ ｓ-1
　－バルブシート　　　　　　　　＜１・１０^ー１０ Pa ｍ³ ｓ-1
　使用圧力範囲　　　　　　　　　　１・１０^ー８Pa to 0.16MPa(abs)
ゲートにかかる許容最大差圧　　　≦0.16MPa in either direction
(DN63-200)
バルブを開ける時の許容最大差圧　≦30 hPa
第１回サービスまでのサイクル数　５０，０００
ベークアウト温度
　－バルブボディ　　　　　　　　≦250℃ open、200℃ closed
　－手動アクチュエータ　　　　　≦250℃
加熱及び冷却速度　　　　　　　　≦50℃ h^-1
シール材料
　－ボンネット　　　　　　　　　メタル
　－ゲート　　　　　　　　　　　VITON

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