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UHVゲートバルブ

UHVゲートバルブ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

超高真空対応の最適・標準バルブです。

・最新のVATLOCK機構により極小ショックによる閉動作、最小磨耗を実現

【メーカー】
VAT株式会社



ICF114 10836-CE01 428,760円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF152 10840-CE01 559,440円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF203 10844-CE01 741,960円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF253 10846-CE01 1,019,520円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
手動式:ハンドホイール

リーク量
 −ボディ
 −バルブシート

<5・10-11Pa m3 s-1
<1・10-10Pa m3 s-1
使用圧力範囲 1・10-8Pa to 0.16MPa(abs)
ゲートにかかる許容最大差圧
(DN63-200)

≦0.16MPa in either direction
バルブを開ける時の許容最大差圧 ≦30 hPa
第1回サービスまでのサイクル数 50,000
ベークアウト温度
 −バルブボディ
 −手動アクチュエータ

≦250℃ open、200℃ closed
≦250℃
加熱及び冷却速度 ≦50℃ h-1
シール材料
 −ボンネット
 −ゲート

メタル
VITON


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