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クリスタル/コールドカソードゲージ CC-10

クリスタル/コールドカソードゲージ CC-10

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

広帯域計測がこの1台で!
1.0×10-7〜1.0×105Pa
測定原理の異なる真空計を組み合わせることで広範囲の圧力領域測定を可能にしました。
【メーカー】
東京電子


NW25 ※ACアダプタ(AS-1)付 CC-10-NW25 263,250円 お問合わせ下さい お問い合せ
ICF70 ※ACアダプタ(AS-1)付 CC-10-ICF70 270,594円 お問合わせ下さい お問い合せ
専用表示器 DS-10 50,760円 お問合わせ下さい お問い合せ
アダプタセット1 AS-1 8,370円 お問合わせ下さい お問い合せ
アダプタセット2 AS-2 14,580円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
測定範囲    :1.0×105〜1.0×10-7Pa
センサー    :クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ
表示      :7セグメントLED
アナログ出力  :DC0〜10[V]  log出力または複合出力から選択
セットポイント :3点(1点独立、2点はコモン共通)
         接点容量(DC50V、0.12[A])
デジタル
インターフェイス:RS485
フランジ    :NW25、又はICF70
電源電圧    :DC22〜26[V]
動作時周囲温度 :0〜50[℃]
ベーキング温度 :Max 150℃ (回路は取り外すこと)
外径寸法    :94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]  (NW25)
         94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]  (ICF70)
重量      :840[g]  (NW25)
         1060[g] (ICF70)

【オプション】
・CC-10専用表示器 DS-10
 小型なボディー(48(W)×45(H)×100(D)[mm])で密度の高い実装が可能です。
・アダプタセット1 AS-1
 AC100[V]からCC-10本体への電源供給用
・アダプタセット2 AS-2
 AC100[V]からCC-10本体、専用表示器への電源供給用

【用途】
真空蒸着装置
光学薄膜生成装置
加速装置とUHV研究
電子デバイス製造装置
高電子工学のデバイス製造装置

お客様でメンテナンスが行えます。
下記はクリーニングの手順です。