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アイソレイトバルブ

アイソレイトバルブ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

信頼性向上
・リーク量低減2分の1
・寿命アップ 3倍!!

ロータリーポンプ等粗引きポンプ用
電源を粗引きポンプと同じ場所からとることで、
ポンピ停止時にチャンバー側の封上と
ポンプ側のスローリークを行います。

【メーカー】
キャノンアネルバ


AC100V V-025SV-1AC 72,360円 お問合わせ下さい お問い合せ
AC200V V-025SV-2AC 72,360円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
商品番号
V-025SV-1AC
V-025SV-2AC
使用圧力領域
大気圧〜10-2Pa程度
リーク量
<5×10-7Pa・m3/sec
コンダクタンス
420L/min
メンテナンスタイム
30,000サイクル又は1年
主要部材質真空シール部      :フッ素ゴムOリング
             ニトリルゴム
ボディ、弁体、スプリング : SUS304
軸シール潤滑剤      :シリコングリス
接続フランジ
NW25フランジ
使用流体
大気またはガス(腐食性ガスを除く)
使用環境
周囲温度10℃〜40℃
電磁弁定格
AC100V、50/60Hz
AC200V、50/60Hz
質量
1Kg

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