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プロセスガスモニタ

プロセスガスモニタ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

スパッタ装置で差動排気なしでプロセス中のガスをモニターできる

【特長】
・成膜中に高感度で水素を検出可能
・メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト
・さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出

【仕様】
動作圧力:1.3Pa以下
接続フランジ:φ70ICF
通信規格:RS-232C
制御ソフトウェア:QUADVISION3 Win10対応

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【メーカー】
キヤノンアネルバ


M-080QA-HPM 2,808,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
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