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次世代型ポンプ NEXTorr

次世代型ポンプ NEXTorr

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

ポンプ表面に活性気体分子を不可逆的に化学吸着して排気する真空ポンプです。

超高真空領域でも全ての活性なガスに対して高い排気速度を維持できます。
従来のポンプでは困難だった領域での水素排気も簡単です。

【用途】
・UHV-XHV実験装置
・ポータブル装置
・SEM、TEM、FIB分析装置

【セット内容】
・NEXTorr 本体
・専用電源
・入出力ケーブル3m (入力×1、出力×2)

【メーカー】
サエス・ゲッターズ


D100セット
(ICF70)
NEXTorr_D100-5 1,217,592円 お問合わせ下さい お問い合せ
D200セット
(ICF70)
NEXTorr_D200-5 1,379,160円 お問合わせ下さい お問い合せ
D300セット (ICF114) NEXTorr_D300-5 1,801,440円 お問合わせ下さい お問い合せ
D500セット (ICF114) NEXTorr_D500-5 1,976,400円 お問合わせ下さい お問い合せ
D1000セット (ICF152) NEXTorr_D1000-10 2,856,600円 お問合わせ下さい お問い合せ
D2000セット (ICF152) NEXTorr_D2000-10 3,380,400円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
Initial pumping speed (l/s)
Gas
NEG activated
NEG saturated
  O2 100 3.5
  H2 100 -
  CO 70 6
  N2 40 5
  CH4 15 7
  Argon1) 6 6
Sorption
capacity (Torr∙l)
Gas
Single run
capacity 2)
Total capacity 3)
  O2 5 >500
  H2 135 N/A4)
  CO 0.6 >120
  N2 0.3 >25
  CH4 30 50,000 hours at 10-6 Torr
NEG section Getter alloy type St 172
  Alloy composition ZrVFe
  Getter mass (g) 13.5 g
  Getter surface (cm2) 114
ION section Voltage applied DC+5kV
  Number of Penning cells 4
  Standard bake-out temperature 150°C