株式会社アールデック
ガス混合装置   MU Series   


発生ガス成分に応じたマスフローコントローラを搭載し、
簡単操作で混合ガスを発生することができます。
2成分から最大6成分のガス混合までラインアップを用意しています。
制御用ソフトは、プログラム運転機能や、ガス濃度での設定機能等を有しており、
各種研究開発用途に最適なガス発生システムとしてご提供いたします。
【特長】

安定した濃度のガス発生
質量流量制御により供給圧力・環境温度変化の影響を
受けずに正確な濃度の混合ガスが発生できます。

多様なガス種への対応
マルチガス・マルチレンジ機能モデルのマスフローコントローラを搭載していますので、
ガス種・流量レンジの変更がお客様にて実施いただけます。

簡単操作
専用ソフトにより、発生ガス流量・ガス濃度の設定が簡単に行えます。
プログラム機能を付帯していますので、お好みのレシピ作成が可能です。

幅広い流量レンジに対応
微少流量(数SCCM)から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。

【型式】
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