株式会社アールデック

USBタイプの
膜厚・蒸着レートモニター
STM-2






STM-2は、USB接続のシンプルさと、精密測定エンジンの正確さを兼ね備え、すべてがコンパクトで低価格のパッケージに統合されています。
STM-2のコンパクトさとシンプルさにより、セットアップや操作も簡単で効率的です







小型で低価格だけど、大きなパフォーマンス
STM-2はUSBの接続の単純性と、精密測定技術エンジンの正確さが全てコンパクトでお手軽な価格に収まっています。
STM-2のサイズと単純さでセットアップとオペレーションが簡単で効率の良いものとなるでしょう。

上質なパフォーマンス
STM-2は業界で最も精密なUSBで動く、薄いフィルムモニターです。
1秒に10カ所測定を行う事ができ、各測定(1カ所ごと)の間に0.037オングストロームに達する成果を出します。

簡単でフレキシブルな設定
STM-2はあなたのQCMセンサー/フィードスルーをWindows PCに接続するために必要なものが全て一緒に届きます。
シンプルに同封されているBNCケーブルをフィードスルー経由でSTM-2に接続し、STM-2をお持ちのPCに
スタンダードミニUSBケーブル(同封)で接続して下さい。
外部オシレーターや電源は必要ありません。
STM-2は内蔵オシレーターの特徴として、STM-2が石英クリスタルの1m(40インチ)圏内にある場合に、
シンプルでコスト効果の良いインストールを行う事ができます。
スタンダードなINFICONオシレーターキットはSTM-2をフィードスルーより離して設置しなくてはいけない時に使用することができます。

STM-2ソフトウェア
STM-2にはLab VIEWソフトウェアが含まれていて、オペレーションとデータロギングを行う事が可能です。
Windowsソフトウェアは同時に8つのSTM-2とのオペレーションとデータロギングを行うことが可能です。
(各STM-2にはそれぞれUSB電源ポートが必要になります)



一般的なSTM-2システム
・STM-2
・センサー
・フィードスルー
・水晶振動子
(STM-2に含まれている製品は、
ブロック図のBNCケーブル、STM-2、USBケーブル、
および専用ソフトフェアとなります。)








センサー種類 シングルQCMセンサー(シャッター制御はできません)
センサー入力数 STM-2×1台に付きセンサー×1台
センサー入力端子 BNCメスコネクタ
使用可能な水晶振動子 6 MHz
周波数分解能 0.03 Hz(6 MHzにおいて)
測定間隔 0.10 s
基準周波数の安定性 ±2ppm

膜厚とレートの
              分解能/測定

0.037Å(Tooling Faactor=100、密度=1、Z ratio=1、6 MHzの場合)
膜厚の表示の分解能 1Å(ソフトウェアでの表示のみ)
インターフェース

400mA、5V DCの給電が可能なv1.1以降のUSB

寸法

11.4×7.6×2.5cm(4.5×3×1インチ)

質量 57g
コンピュータ要件

Windows 2000以降のMicrosoft のいずれかのOSを実行しているパソコンで、
1台のSTM-2につき1つのUSB1.1以降のポートを使用できること。



ソフトウェア



STM-2のWindowsソフトウェア
・シンプルな操作とデータの記録が可能
・最大8台のSTM-2を同時に操作可能
 (1台のSTM-2につきUSBポートが1つ必要)















QCMセンサー
UHV水晶式検出器 φ70 ICF



ベーキング温度 300℃ Max
冷却水量・水温 0.15~0.2 L/min・30℃ Max
リーク量 5×10-10Pa・m3/sec以下

標準品では300mm、500mm、700mm
その他の寸法にも製作いたします。(最大700mm、最小200mm)
相手側装置のパイプ内径はφ38mm以上必要です。



その他、デュアルセンサーやシャッタ付きセンサーなど様々なタイプの検出器を 取り扱っております。お問い合せください。
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