小型USB接続
膜厚・レートモニター
薄膜の蒸着レートと厚さ測定用の水晶振動子型膜厚・レートモニター(QCM)をお探しですか？
Q-podは小型で低価格、正確な測定が可能なモニターです。
▼ 最もシンプル(小型・軽量)で最も低価格な
水晶振動子型膜厚・レートモニター(QCM)
▼ PCのUSBポートに直接接続可能(最大8個まで)
▼ オシレーター内蔵
▼ Windows上で動作(ソフトウェア付)し、データログ可
▼ ほとんどの市販センサーに接続可能
セットアップ&操作はこれ以上ないくらい簡単に行えます!!
Q-podのBNCコネクターをQCMセンサーのシグナル端子につなぎ、反対側は通常のUSBケーブルをPCにつなぎます。それ以外のオシレーターや電源の接続は必要ありません。 附属のQ-podソフトウェアをPCにインストールすれば準備OKです。
このソフトウェアは、レート・膜厚・周波数・水晶の寿命・レートvs時間のグラフを最大8個のQ-podで同時に表示可能です。Q-podで測定されたデータはエクセル等に出力しやすいCSVフォーマットにて保存されます。
センサー
ほとんどの市販センサーに接続可能
周波数範囲
1〜10MHz
周波数分解能
0.05Hz at 6MHz
周波数精度
0.002%
周波数安定度
±2ppm total 0℃以上〜50℃
入出力端子
BNC/USB
寸法・重量
25×50×65mm・52g
ソフトウェア
標準附属
必要システム
Windows2000又はXPが動作しているPC+USB2.0ポート
ソフトウェア
標準附属のソフトウェア
メイン画面
最大8個のQ-podを同時に接続、モニターが可能です。
(その場合8個のUSBポートが必要になります)
インフィコン製
薄膜蒸着コントローラー SQC310シリーズ
多層膜蒸着用 膜厚・レートモニター SQM160
膜厚・レートモニター
セットアップ&操作はこれ以上ないくらい簡単に行えます!!
