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磁気軸受ターボ分子ポンプ

磁気軸受ターボ分子ポンプ

※サブ画像にマウスを乗せるとメイン画像が切り替わります。

あらゆる分野に使用できるベストセラー
*到達圧力の測定
*残留ガスの測定
*ポンプ回転数可変機能
 25-100%の範囲で設定が可能。排気機能を調整できます。
*一体型ロータ翼
*チューニングフリー
ターボ分子ポンプ、ケーブル、電源装置の組み合わせに互換性があり、組合わせを変更した場合にでも再調整は不要です。
*停電時の対応
タッチダウンベアリングは260回の停電によるタッチダウンに耐えます。


【メーカー】
島津製作所





190L/s (空冷) TMP-203M 1,993,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
190L/s (水冷) TMP-203LM 1,993,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
320L/s (空冷) TMP-303M 2,365,200円 お問合わせ下さい お問い合せ
320L/s (水冷) TMP-303LM 2,365,200円 お問合わせ下さい お問い合せ
420L/s (空冷) TMP-403M 2,479,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
420L/s (水冷) TMP-403LM 2,479,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
800L/s (空冷) TMP-803M 3,343,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
800L/s (水冷) TMP-803LM 3,343,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
1080L/s (空冷) TMP-1003M 3,559,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
1080L/s (水冷) TMP-1003LM 3,559,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
1500L/s(空冷) TMP-1503M 4,207,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
1500L/s (水冷) TMP-1503LM 4,207,680円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
ターボ分子ポンプ TMP-203LM TMP-203M
吸気口側フランジ VG100 / ICF152
排気口側フランジ KF25
冷却方法 水冷 空冷
到達圧力 (ベーキング後) (注1) 10-8 Pa オーダ 10-8 Pa オーダ
N2連続運転時の最大吸気口圧力 200 Pa 1.3 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 400 Pa 40 Pa
排気速度 (注2)
N2
He
H2
190 L/s
140 L/s
120 L/s
圧縮比
N2
He
H2
1×109
6×104
4×103
規定回転数 50000 rpm
起動時間 5分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
ポンプ吸気口ベーキング温度 120 ℃以下
振動 [弊社測定方法による] 0.012 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量 20 〜 30 mL/min (注3)
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 200 L/min 以上
許容周囲温度 0 〜 40 ℃
許容磁束密度
半径方向
軸方向
3 mT
15 mT
冷却水
流量 
水圧 
水温 
1 〜 3 L/min
0.2 〜 0.5 MPa
5 〜 30
質量 9 kg

ターボ分子ポンプ TMP-303LM TMP-303M
吸気口側フランジ VG100 / ICF152
排気口側フランジ KF25
冷却方法 水冷 空冷
到達圧力 (ベーキング後) (注1) 10-8 Pa オーダ 10-8 Pa オーダ
N2連続運転時の最大吸気口圧力 200 Pa 1.3 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 400 Pa 40 Pa
排気速度 (注2)
N2
He
H2
320 L/s
340 L/s
320 L/s
圧縮比
N2
He
H2
1×109
8×104
1×104
規定回転数 45000 rpm
起動時間 5分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
ポンプ吸気口ベーキング温度 120 ℃以下
振動 [弊社測定方法による] 0.012 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量 20 〜 30 mL/min (注3)
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 200 L/min 以上
許容周囲温度 0 〜 40 ℃
許容磁束密度
半径方向
軸方向
3 mT
15 mT
冷却水
流量 
水圧 
水温 
1 〜 3 L/min
0.2 〜 0.5 MPa
5 〜 30
質量 14 kg

ターボ分子ポンプ TMP-403LM TMP-403M
吸気口側フランジ VG150 / ICF203
排気口側フランジ KF25
冷却方法 水冷 空冷
到達圧力 (ベーキング後) (注1) 10-8 Pa オーダ 10-8 Pa オーダ
N2連続運転時の最大吸気口圧力 200 Pa 1.3 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 400 Pa 40 Pa
排気速度 (注2)
N2
He
H2
420 L/s
360 L/s
340 L/s
圧縮比
N2
He
H2
1×109
8×104
1×104
規定回転数 45000 rpm
起動時間 5分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
ポンプ吸気口ベーキング温度 120 ℃以下
振動 [弊社測定方法による] 0.012 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量 20 〜 30 mL/min (注3)
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 200 L/min 以上
許容周囲温度 0 〜 40 ℃
許容磁束密度
半径方向
軸方向
3 mT
15 mT
冷却水
流量 
水圧 
水温 
1 〜 3 L/min
0.2 〜 0.5 MPa
5 〜 30
質量 14 kg

ターボ分子ポンプ TMP-803LM TMP-803M
吸気口側フランジ VG150 / ICF203
排気口側フランジ KF40
冷却方法 水冷 空冷
到達圧力 (ベーキング後) (注1) 10-9 Pa オーダ 10-9 Pa オーダ
N2連続運転時の最大吸気口圧力 400 Pa 1.3 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 665 Pa 40 Pa
排気速度 (注2)
N2
He
H2
800 L/s
800 L/s
700 L/s
圧縮比
N2
He
H2
1×109 以上
8×104
4×103
規定回転数 35000 rpm
起動時間 5分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
ポンプ吸気口ベーキング温度 120 ℃以下
振動 [弊社測定方法による] 0.01 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量 20 〜 30 mL/min (注3)
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 500 L/min 以上
許容周囲温度 0 〜 40 ℃
許容磁束密度
半径方向
軸方向
3 mT
15 mT
冷却水
流量 
水圧 
水温 
1 〜 3 L/min
0.2 〜 0.5 M Pa
5 〜 30
質量 33 kg

ターボ分子ポンプ TMP-1003M
排気口側フランジ KF40
冷却方法 空冷
到達圧力 (ベーキング後) (注1) 10-9 Pa オーダ
N2連続運転時の最大吸気口圧力 1.3 Pa
連続運転時の最大排気口圧力 40 Pa
排気速度 (注2)
N2
He
H2
1080 L/s
930 L/s
790 L/s
圧縮比
N2
He
H2
1×109
8×104
4×103
規定回転数 35000 rpm
起動時間 5分以内
取り付け方向 全方位取り付け可能
ポンプ吸気口ベーキング温度 120 ℃以下
振動 [弊社測定方法による] 0.01 μm 以下 (片振幅)
推奨ガスパージ流量 20 〜 30 mL/min (注3)
ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 500 L/min 以上
許容周囲温度 0 〜 40 ℃
許容磁束密度
半径方向
軸方向
3 mT
15 mT
質量 32 kg 以下

(注1) 吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。
Oリングガスケットを使用した場合は,到達圧力は10-7 Pa オーダとなります。
(注2) 保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は180 L/sとなります。
(注3) mL/minは0 ℃,1気圧での体積流量で表示しています。 (SCCM表記と等価です。)