- 仕様/構成 -
到達真空度
成膜室：10
-8
Pa台
試料準備室：10
-6
Pa台
成膜室
チェンバー
サイズ/材質：φ400×H500 SUS304製
内面処理：バフ研磨＋電解研磨
φ203ICFビューイングポート(手動シャッター付、内部観察用)
φ 70ICF ビューイングポート(手動シャッター付、蒸発源観察用)
水冷パイプ巻き、シースヒーター巻き
メインポンプ
800L/sec.磁気軸受型ターボ分子ポンプ
補助ポンプ
350L/min.ロータリーポンプ
マニュピレータ
Ｚ軸ストローク：50mm
面内回転：360°連続モーター駆動(〜20rpm)
基板ホルダー
φ3インチ（φ2,φ4インチも選択可）
蒸発源
3KW電子ビーム蒸発源（4基)
・ビーム加速電圧：5KV
・エミッション電流：0〜600ｍA
・ビームスイープ
・ルツボ数/容量：4個、3.8mL
・マウントフランジ：φ253ICF
※共蒸着：４元同時可能（但し、電子銃制御電源×4台必要、標準装備は１台）
試料準備室
チェンバー
サイズ/材質：φ100×H150、SUS304製
φ203ICF基板交換ハッチ
自動リークバルブ
搬送機構
マグネットフィードスルー式
メインポンプ
300L/sec.磁気軸受型ターボ分子ポンプ
補助ポンプ
150L/min.ロータリーポンプ
荒引きポンプ
250L/min.オイルフリースクロールポンプ
制御・計測系
電離真空計
（ヌードイオンゲージ）
測定範囲：10
-2
〜10
-9
Pa
チャンネル数：2ch切換
コンベクトロン真空計
測定範囲：0.1MPa〜10
-2
Pa
チャンネル数：2ch
膜厚制御器
XTC/2、シャッター付UHVベーカブル検出器
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ式ｺﾝﾄﾛｰﾙ
（PC＋LabVIEW*）
真空排気・リークの自動操作、ポンプ・バルブのリモート操作、
インターロック、オートリーク機能、停電対策
*
LabVIEWとは、ナショナルインスツルメンツ社が開発した計測・テスト用ソフトウェアです。
