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RHEED　　Reflection High-Energy Electron Diffraction


30keV　
電子銃　　RDA-003G　
制御電源　RDA-004P　


RHEED解析システム　>>





















高速反射電子回折装置
高速反射電子回折法は、薄膜結晶 成長技術の発展とともに
型　式 RDA-003G
ビームスポット径 φ９０μm
フィラメント φ0.1mmタングステン線ヘアピン型
ウェネルト セルフバイアス式
収束レンズ 空芯型電磁レンズ
偏向レンズ トロイダル電磁レンズ
軸合せ機構 フィラメント、ウェネルト軸合せ
絶縁耐圧 DC30KV
許容リーク量 ＜1.33×10-11Pa・m3/sec
ベーキング温度 ＜200℃
取付フランジ ICF70 (2.75" O.D.)
外径寸法 φ100×401mm
結晶化評価のその場観察手段として不可欠なものになっております。
RHEEDは一般に10〜30KeV程度の電子線を試料表面に
数度程度の浅い入射角度で入射させ、電子の波動性により
結晶格子の回折された電子線を対向するスクリーンに投影して、
結晶表面の構造を調べる方法です。


特長　
　研究者の操作性を第一に設計
  • 手元のリモコンBoxに、加速電圧・エミッション電流の メーターが
    ある事により、スクリーン上の回折像の観察条件が 一目で確認でき
    全ての操作がリモコンBoxで安全かつスムーズに行えます
  • フィラメント交換、ビーム調整等、作業性を重視した設計と
    なっており、メンテナンスが容易に行えます。
    （お客様による面倒な微調整は不要です。）
  • 外部制御コネクタにより、RHEEDの高電圧、フィラメント、
    XYZレンズを可変させる事が出来ます。
  • 電子銃内面の表面処理が施され、電子銃本体からの
  • アウトガスが抑えられています。
    •
型式 RDA-004P
加速電圧 ０〜30KV定電圧電源160μA
リップル0.03％以下 (120μAリミット)
フィラメント電源 ０〜５V定電圧電源2A(MAX)
リップル0.05％以下
偏向レンズ電源 ±1A定電流電源±1V
リップル0.05％以下
収束レンズ電源 ±０〜1.5A定電流電源０〜22V
リップル0.05％以下
外径寸法 480×199×500mm(+ケーブル100mm)

寸法図　　↓クリックで拡大します



*外観・仕様等は、改良のため予告なく変更する場合があります。
ご了承下さい。


高性能　kSA400 RHEED解析システム　

kSA400 RHEED解析システムは、結晶薄膜表面を評価・分析する為に、明確にデザインされた統合ハードウェアとソフトウェア製品です。kSA400システムの多くの特徴は、世界中の他のどの製品でも不可能なのものです。




◎Plugin・ Software
◎RHEED　Gun コントロールオプション

360kb
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