株式会社アールデック

kSA ICE
MOCVD用in-situひずみ・応力・温度・反射率・膜厚測定システム



GaN(LED、パワーデバイス)のMOCVD成膜中のin-situ測定に特化した製品です。
必要機能に応じて以下から選択でき、後にアップグレードすることも可能です。

kSA ICE 反射率・黒体輻射温度・ひずみ・応力
kSA ICE-R 反射率
kSA ICE-RB 反射率・黒体輻射温度
kSA ICE-RC 反射率・ひずみ・応力
kSA Blue ICE 反射率・黒体輻射温度・ひずみ・応力・GaN薄膜表面温度・膜厚・粗度


Veeco社製、Aixtron社製、大陽日酸社製、その他カスタムMOCVD装置にて
実績がございます。



ICEセットアップ



測定画面例1

測定画面例2
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