株式会社アールデック
k-Space Associstes, Inc.
ex-situ モニタ

k-Space社はMBE、スパッタ装置、PVD、MOCVD、MOVPEなどの薄膜蒸着装置の基板、薄膜表面のin-situ測定システムの設計、製造、販売を目的として
米国ミシガン州に1992年に設立されました。




kSA MOS Ultra-Scan 基板ひずみ・応力2D/3Dマッピングシステム
観察空間領域200mmφ、最高空間分解能2μm、最大曲率半径100km



kSA Emissometer
MOCVD生産機ウェハキャリア検査システム

kSA Emissometerを使うことで、MOCVD用ウェハキャリアの堆積膜や目視では確認出来ないクラックを検知し、
ウェハキャリアの交換タイミング(寿命)が的確に判ります。


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